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丙硅烷《氣體應用大全》

2014-3-6 23:46:36

丙硅烷 Si₃H₈

1.英文名·別名

Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane．

2.用途

半導體硅膜制造、非晶硅制造。

3.理化性質

分子量： 92.33

溶點： -117.4℃

沸點： 53℃

液體密度(-117.4℃)： 725kg/m³

氣體密度(0℃，101.325kPa)：4.15kg/m³

比熱容(氣體，27℃)： 1256.04J/(kg·K)

粘度(20℃)：0.00318 Pa·s

丙硅烷在常溫常壓下為可燃性有毒液體。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷和乙硅烷更強。在空氣中能自燃。它在空氣中的爆炸范圍不詳，但是可以估計、比硅烷的爆炸范圍還大。因此，當把它與空氣接觸時，為安全起見，必須把濃度控制存0.1%以下。丙硅烷的熱穩(wěn)定性也比硅烷差，靠其放電能量也可使其分解成si和H₂。它不溶于水，不與酸反應，但能與堿反應生成硅酸和氫。與單體鹵素激烈反應。它無腐蝕性。

4.毒性·安全防護

丙硅烷容器要存放在陰涼通風良好之處，要遠離熱源和火種，要與其它可燃性物質和腐蝕性藥品隔離，庫溫不宜超過40℃，避免陽光直射。搬運時要輕裝輕卸，嚴防容器受撞擊。

著火時要切斷氣源，通惰性氣體以控制火勢，單純靠滅火劑來滅火是不行的。

排放丙硅烷廢氣時，必須是在完全分解之后排放，或者是在嚴格控制之下燃燒掉。具體的作法如下：

(1)導入液化石油氣等連續(xù)燃燒的火焰中，使其一同燃燒掉。

(2)通入堿性水溶液中，使其全部水解。

(3)通入堿金屬(Na、Li等)的低級醇溶液中(約0.5%)，使其水解。

參見硅烷。

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