氣體知識

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為電子工業(yè)服務(wù)的電子氣品種繁多，用途五花八門，它的分類方法亦較為復(fù)雜。一般可按電子氣組分的性質(zhì)來分類，也可以按電子氣的用途分類。

（一）按電子氣組分的性質(zhì)分類

按組分的性質(zhì)分類，大致可分為三大類，即單質(zhì)類氣體，化合物類氣體和混合物類氣體。其中化合物類應(yīng)用較多，又可細(xì)分為三種，即氫化物（如SiH4、PH3、B2H6等）、氟化物（如NF3、BF3、SiF4等）和碳氟化合物（如CF4、C2F6、C5F12等）。

不同成分電子氣的分類

分類	氣體名稱
單質(zhì)氣體	Ar、H2、O2、He、N2、Cl2
化合物氣體	SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCI、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、C3F8、C5F12
混合物氣體	①SiH4+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ②PH3+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ③AsH3+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ④B2H6+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ⑤HCI+稀釋氣（Ar、He、O2、N2） ⑥H2S +稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ⑦NH3 +稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ⑧Cl2 +稀釋氣（Ar、He、N2） ⑨CO+SF6 ⑩H2Se +稀釋氣（Ar、He、H2、N2）

（二）按電子氣用途分類

根據(jù)電子氣的不同用途，電子氣可分為十多類，例如外延晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴(kuò)散氣、化學(xué)氣相沉積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊接氣、燒結(jié)氣和平衡氣等。

不同用途電子氣的分類

分類	氣體名稱
摻雜氣	AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
晶體生長氣	SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、 (CH3)Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCll4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
氣相蝕刻氣	Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
等離子蝕刻氣	SiH4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、N2、He、Ar
離子束蝕刻氣	C3F8、CHF3、CClF3、CF4
離子注入氣	AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
化學(xué)氣相沉積氣	SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡氣（稀釋氣）	N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延氣	SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar