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一、范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三氟甲烷的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氫為原料制備的三氟甲烷產(chǎn)品，它在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體。

分子式：CHF₃

二、技術(shù)要求

三氟甲烷的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求

三、三氟甲烷純度計算

四、包裝、標(biāo)志、貯運及安全

1、包裝三氟甲烷的氣瓶應(yīng)符合GB/T 5099的規(guī)定。

2、推薦使用進行內(nèi)表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應(yīng)滿足本標(biāo)準(zhǔn)的要求。瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA320。

3、應(yīng)防止瓶口被污染和泄漏。

4、包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子級三氟甲烷”字樣。

5、三氟甲烷產(chǎn)品應(yīng)存放在陰涼、干燥、通風(fēng)的庫房內(nèi)，嚴(yán)禁暴曬、遠(yuǎn)離熱源。

6、三氟甲烷在常溫常壓下具有窒息性、無色無味氣體，空氣中不燃燒。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐，有麻醉作用。

7、三氟甲烷與高溫表面或火焰接觸時，分解生成腐蝕性和毒性都極高的氟化氫煙霧。

8、接觸三氟甲烷氣體可能引起心律失常和窒息。吸入蒸氣可能引起中樞神經(jīng)系統(tǒng)抑郁。液態(tài)時濺到皮膚上能引起灼傷。